德國MechOnics壓電式納米定位臺的結(jié)構(gòu)通常包括壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運(yùn)動。MechOnics壓電式納米定位臺這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得壓電納米定位臺具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器后,可實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。
查看詳細(xì)介紹德國MechOnics壓電式納米定位臺是一種基于壓電效應(yīng)的高精度定位裝置,其工作原理主要依賴于壓電陶瓷材料的逆壓電效應(yīng)。當(dāng)對壓電陶瓷施加電場時,其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)發(fā)生微小形變,從而產(chǎn)生機(jī)械位移。這種位移可以被控制,以實(shí)現(xiàn)納米級別的運(yùn)動控制和定位。
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